Chemo Mechanical Process(화학 기계 공정)란 무엇입니까?
Chemo Mechanical Process 화학 기계 공정 - The UVA-CM strategy will contribute to developing a novel hybrid chemo-mechanical process for micro-grinding monocrystalline silicon. [1] Structural, morphological and thermal behavior of NFC throughout the chemo-mechanical processes were studied. [2] The role of material heterogeneity length scale is addressed for strongly coupled chemo-mechanical process. [3] In the present study, an experimental investigation is carried out to get insight into the mechanical response during the coupled chemo-mechanical process. [4]UVA-CM 전략은 단결정 실리콘을 미세연삭하기 위한 새로운 하이브리드 화학-기계 공정 개발에 기여할 것입니다. [1] 화학-기계적 프로세스 전반에 걸친 NFC의 구조적, 형태적 및 열적 거동을 연구했습니다. [2] 물질 이질성 길이 척도의 역할은 강력하게 결합된 화학-기계적 프로세스에 대해 설명됩니다. [3] 본 연구에서는 결합된 화학-기계적 프로세스 동안 기계적 반응에 대한 통찰력을 얻기 위해 실험적 조사가 수행되었습니다. [4]